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四甲基氢氧化铵
四甲基氢氧化铵
中文名称：
四甲基氢氧化铵
英文名称：
Tetramethylammonium hydroxide
| CAS： 75-59-2 | 分子式： C4H13NO | 分子量： 91 | EINECS号： 200-882-9 |
Tetramethylammonium hydroxide
美国有毒物质控制法案(TSCA)目录
美国有毒物质控制法案目录
基本性质
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蒸气压
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17.5 mm Hg ( 20 °C)
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|---|---|
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折射率
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n
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溶解度
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Methanol (Sparingly), Water (Slightly)
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形态
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Solution
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颜色
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APHA: ≤10
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气味 (Odor)
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strong ammonia-like odor
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PH值
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>13 (H2O, 20°C)
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水溶解性
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Soluble in water.
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敏感性
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Air Sensitive
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BRN
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3558708
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EPA化学物质信息
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安全信息
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危险品标志
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|---|---|
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安全说明
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危险品运输编号
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UN 3286 3/PG 2
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F
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海关编码
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29239000
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毒害物质数据
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CHS信息
生产方法及用途
| 用途 |
用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等
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|---|---|
| 用途 |
1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等的催化剂；
2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；
3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；
4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。
5．在电路板的印刷和显微镜片的制造中，可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中si-sio2界面的各向异性腐蚀剂。
6．用作CMP过程清洗剂，IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。
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| 用途 |
在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面，作为极谱试剂，在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素，在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。本产为有机硅聚合中的催化剂。其优点是：它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。超过分解点时迅速分解为三甲胺和甲醇。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”。在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。
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| 用途 |
氨基硅油、201甲基硅油、硅橡胶等有机硅类产品聚合中的催化剂。当水溶液使用时，可用作合成RT培司催化剂，亦可用于聚酯类聚合物、纺织、皮革、木材加工、电子、电镀等行业，也是极谱实验支持液
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| 用途 |
在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等
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| 用途 |
用作极谱分析试剂
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| 类别 |
腐蚀物品
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| 毒性分级 |
剧毒
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| 急性毒性 |
皮下- 小鼠 LDL0: 19 毫克/ 公斤
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| 爆炸物危险特性 |
对皮肤,角膜有腐蚀性
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| 可燃性危险特性 |
蒸气有毒; 燃烧排放有毒氮氧化物和氨气烟雾
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| 储运特性 |
库房通风低温干燥; 与酸类分开存放。
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| 灭火剂 |
雾状水、泡沫、砂土
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