CAS: 7783-63-3 | 分子式: | 分子量: | EINECS号: |
溶解度
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reacts with H2O; soluble in ethanol,pyridine
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形态
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Powder and/or Chunks
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颜色
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White
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比重
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2.798
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水溶解性
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Insoluble in water.
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暴露限值
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ACGIH: TWA 2.5 mg/m3
NIOSH: IDLH 250 mg/m3 |
NIST化学物质信息
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危险品标志
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安全说明
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危险品运输编号
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UN 3260 8/PG 2
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Hazard Note
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Corrosive
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海关编码
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28261990
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化学性质 |
四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
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生产方法 |
以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。其反应如下:
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用途 |
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
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